一种硅片料清洗机反应容器
授权
摘要

本实用新型公开了一种硅片料清洗机反应容器,包括滚筒、上料管道和支架,所述滚筒外壁左右位置开设有滑槽,且滚筒上中间位置固定有锯齿,所述上料管道的下端固定有支撑杆,所述上料管道的上端从左到右依次固定有第一计量机构和第二计量机构,所述支架的上端前后对称位置分别固定有转动机构和传动机构,且转动机构包括第一滑轮、第一轴承座、第一齿轮、转动轴和伺服电机,所述支架的前端固定有PLC控制器,且PLC控制器的输出端与伺服电机的输入端电性连接。本实用新型通过设置滚筒、上料管道、第一计量机构、第二计量机构、转动机构和传动机构,解决了清洗机反应容器清洗效果不佳和没有计量功能配置清洗液时耗时耗力的问题。

基本信息
专利标题 :
一种硅片料清洗机反应容器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921769396.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-21
授权号 :
CN210966115U
授权日 :
2020-07-10
发明人 :
李威
申请人 :
浙江矽盛电子有限公司
申请人地址 :
浙江省衢州市开化县工业园区银辉路8号
代理机构 :
浙江翔隆专利事务所(普通合伙)
代理人 :
周培培
优先权 :
CN201921769396.0
主分类号 :
B08B3/08
IPC分类号 :
B08B3/08  B08B3/10  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/08
具有化学作用或溶解作用的液体
法律状态
2020-07-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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