本实用新型公开了一种硅片切割冷却系统，包括：缸体，具有腔体；溢流单元，具有与所述腔体连通的溢流通道；补给单元，具有调液模块和补液通道；所述调液模块包括具有调液腔的调液缸体、与所述调液腔连通的稀释液储罐和药剂储罐，所述补液通道连通所述调液腔与所述腔体。本实用新型通过溢流通道能够对腔体内携带有硅粉的冷却用液及时的清理，同时通过补给单元的设置能够为腔体内及时的补给所需要的冷却用液，在不影响切割进程的前提下实现了腔体内冷却用液的更换，避免了由于硅粉对冷却用液的消耗造成冷却用液浓度的降低，进而降低了切割过程中刀具损伤严重的问题，同时提升了切片良率。