一种硅片切割液过滤冷却装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种硅片切割液过滤冷却装置，涉及硅片切割液处理设备技术领域。本实用新型，过滤箱(1)内斜向设置过滤板；冷却箱(2)中设置内部带有制冷管(206)的冷却板；进液管道(501)连接着过滤箱(1)，过滤箱(1)通过中间管道(502)与冷却箱(2)连接，冷却箱(2)连接着出液管道(503)，制冷器(4)通过冷管(504)连通着置于冷却箱(2)中的冷却板内的制冷管(206)。与现有技术相比，本实用新型中，可以对切割液进行过滤、冷却处理，使其循环再利用，不排废液；过滤板斜向布置，可溢流不阻滞过滤；多道过滤，处理后的切割液纯度高，对硅片切割面质量有利；以冷水作为切割液时，能够节约水资源。
基本信息
专利标题 ：
一种硅片切割液过滤冷却装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920583926.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-26
授权号 ：
CN209832254U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
曾磊张玉玉纪杨
申请人 ：
山东大海新能源发展有限公司
申请人地址 ：
山东省东营市广饶县经济开发区綦公路以北,西康路以西
代理机构 ：
北京中北知识产权代理有限公司
代理人 ：
段秋玲
优先权 ：
CN201920583926.6
主分类号 ：
B28D7/02
IPC分类号 ：
B28D7/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
B28D7/02
用于清除或消除灰尘的，例如通过喷射液体；用于冷却工件的
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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