一种TMR全桥磁传感器
授权
摘要

一种TMR全桥磁传感器,包括:基片和设置于所述基片上的TMR单元,所述TMR单元包括自由层、钉扎层和隧道层,4组TMR单元桥式连接形成全桥结构,4组TMR单元分别位于全桥结构的4个桥臂上;所述TMR单元的长宽比不等于1,位于相邻桥臂上的TMR单元的长轴相互垂直,位于相对桥臂上的TMR单元的长轴相互平行。本实用新型根据TMR单元的长轴方向来布置全桥结构上的TMR单元,使相邻桥臂上的TMR单元的长轴方向互相垂直,相对桥臂上的TMR单元的长轴方向相互平行,从而通过在磁场退火时施加特定角度的外加磁场,得以一次性在单一芯片上形成全桥结构,大大降低了单一芯片全桥磁传感器制备工艺的难度和生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种TMR全桥磁传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921789390.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-23
授权号 :
CN211180161U
授权日 :
2020-08-04
发明人 :
刘明胡忠强周子尧毛若皓关蒙萌
申请人 :
珠海多创科技有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋5-B单元
代理机构 :
广东朗乾律师事务所
代理人 :
杨焕军
优先权 :
CN201921789390.X
主分类号 :
G01R33/09
IPC分类号 :
G01R33/09  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01R
测量电变量;测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/02
测量磁场或磁通量的方向或大小
G01R33/06
采用电磁器件
G01R33/09
磁电阻器件
法律状态
2020-08-04 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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