挡辐射板及扩散炉
授权
摘要
本实用新型涉及一种挡辐射板，包括挡辐射板本体，所述的挡辐射板本体上开设有贯穿其两面的主排气口，所述的挡辐射板本体包括填充层、包覆在所述的填充层外部的包覆层，所述的填充层的材质为石英棉。一种扩散炉，包括石英管、连接在所述的石英管至少一端的密封组件，所述的扩散炉还包括设置在所述的石英管内靠近所述的密封组件的挡辐射板。本实用新型通过包覆石英棉的挡辐射板能够有效阻挡烤时的辐射热，延长了密封组件的使用寿命；同时挡辐射板不会与烘烤气体发生反应，保证了烘烤器件的质量。
基本信息
专利标题 ：
挡辐射板及扩散炉
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921801102.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-24
授权号 ：
CN210602789U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
曹文朱廷刚胡小龙
申请人 ：
江苏能华微电子科技发展有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市国泰北路1号科技创业园（能华微电子）
代理机构 ：
苏州创元专利商标事务所有限公司
代理人 ：
王桦
优先权 ：
CN201921801102.8
主分类号 ：
F27B17/00
IPC分类号 ：
F27B17/00 F27D11/02 H01L21/67
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F27
炉；窑；烘烤炉；蒸馏炉
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B
一般馏炉、窑、烘烤炉或蒸馏炉；开式烧结设备或类似设备
F27B17/00
不包含在F27B 1/00至F27B 15/00中任一组的炉
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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