衬底支撑组件
授权
摘要
本文公开了一种衬底支撑组件，所述衬底支撑组件具有沿着所述衬底支撑组件的侧表面设置在所述衬底支撑组件中的接地电极网。所述衬底支撑组件具有主体。所述主体具有外顶表面、外侧表面和外底表面，所述外顶表面、所述外侧表面和所述外底表面包围所述主体的内部。所述主体具有接地电极网，所述接地电极网设置在所述主体的所述内部中并邻近所述外侧表面，其中所述接地电极不延伸通过到所述外侧顶表面或所述外侧表面。
基本信息
专利标题 ：
衬底支撑组件
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921932647.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-11
授权号 ：
CN211578693U
授权日 ：
2020-09-25
发明人 ：
M·R·赖斯V·D·帕科
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
汪骏飞
优先权 ：
CN201921932647.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-09-25 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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