用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路
实质审查的生效
摘要
一种衬底处理系统包含衬底支撑件和电源电路。所述衬底支撑件被配置成支撑衬底，其中所述衬底支撑件包含一或更多个加热元件。所述电源电路包含：直流‑交流转换器，其被配置成将第一直流电压转换为第一交流电压，其中所述直流‑交流转换器包含至少一个开关；以及隔离电路，其包含耦合电感器或变压器中的一者。所述耦合电感器或所述变压器中的所述一者被配置成将所述第一交流电压转换为第二交流电压，并且将所述一或更多个加热元件与接地隔离。所述电源电路被配置成基于所述第二交流电压而提供输出电压至所述一或更多个加热元件。
基本信息
专利标题 ：
用于衬底处理系统的衬底支撑件的加热器元件的电源隔离电路
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114556542A
申请号 ：
CN202080070853.6
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2020-10-05
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
文森特·布克哈特卡尔·弗雷德里克·利瑟
申请人 ：
朗姆研究公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
上海胜康律师事务所
代理人 ：
李献忠
优先权 ：
CN202080070853.6
主分类号 ：
H01L21/683
IPC分类号 ：
H01L21/683 H01J37/32 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/683
申请日 : 20201005
申请日 : 20201005
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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