用于大气机械手的机械手指
授权
摘要
本实用新型公开一种用于大气机械手的机械手指，包括：至少一个指叉，指叉的末端设有凸台，凸台上设有负压气孔和围绕负压气孔的吸盘。通过在指叉末端的凸台上设置吸盘，在取放晶圆的过程中，吸盘能够提高凸台与晶圆曲面贴合度，从而防止晶圆滑落，提高机械手的自适应性，解决了原有机械手指无法吸附翘曲大、厚度薄地晶圆的技术问题，增加机械手取放晶圆的效率和成功率，对于特殊工艺需求的薄片晶圆，吸盘可以减轻晶圆与指叉接触时的冲击，起到了缓冲的作用。
基本信息
专利标题 ：
用于大气机械手的机械手指
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922066639.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-26
授权号 ：
CN211662068U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
张伟涛范泽斌
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京思创毕升专利事务所
代理人 ：
孙向民
优先权 ：
CN201922066639.0
主分类号 ：
B25J11/00
IPC分类号 ：
B25J11/00 B25J15/06 B25J19/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J11/00
不包含在其他组的机械手
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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