一种物理化学气象沉积装置
授权
摘要
本实用新型属于气象沉积技术领域，尤其为一种物理化学气象沉积装置，包括气相沉积装置本体以及气相沉积装置本体上安装的通管，通管内开设有空腔，通管的表面上一体成型有衔接壳，衔接壳的的内部开设有空槽，空槽中设置有连杆，通过通管内部边壁上设置的套筒，配合电机对其的动力输出效果，令连杆连带着套筒和环片在气象沉积装置工作的同时不断的进行转动，有效的防止了粉尘与通管壁面上的粘连，保证通管内空腔中物料传输的正常进行，同时通过合页的翻转作用，令背板与气相沉积装置本体之间有着较好的快速翻开能力，使得工作人员在对气象沉积装置进行维护时，可从前后两侧对内部构件进行观察修理。
基本信息
专利标题 ：
一种物理化学气象沉积装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922106669.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN210826326U
授权日 ：
2020-06-23
发明人 ：
许梁彭博军李权胡丽芸曾坚马宗乐
申请人 ：
江西理工大学
申请人地址 ：
江西省赣州市红旗大道86号
代理机构 ：
西安合创非凡知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
居延娟
优先权 ：
CN201922106669.X
主分类号 ：
C23C14/22
IPC分类号 ：
C23C14/22 C23C16/44
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2020-06-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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