化学气象沉积设备
授权
摘要
本申请公开一种化学气象沉积设备，所公开的化学气象沉积设备包括腔室本体(100)、承载装置(300)和驱动机构(400)，其中：所述腔室本体(100)形成容纳腔(500)，所述承载装置(300)设置于所述容纳腔(500)中，且所述承载装置(300)包括承载部和基部，所述基部设置于所述腔室本体(100)的底壁上，所述承载部可转动地设置于所述基部上，所述承载部与所述驱动机构(400)相连，所述驱动机构(400)用于在取放片时驱动所述承载部升降和旋转。上述方案能够解决化学气象沉积设备的产能较低以及严重影响工作人员健康的问题。
基本信息
专利标题 ：
化学气象沉积设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022097497.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-22
授权号 ：
CN213680881U
授权日 ：
2021-07-13
发明人 ：
周坤玲
申请人 ：
北京北方华创微电子装备有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
施敬勃
优先权 ：
CN202022097497.7
主分类号 ：
C23C16/458
IPC分类号 ：
C23C16/458
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/458
在反应室中支承基体的方法
法律状态
2021-07-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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