本实用新型公开了一种化学气相沉积设备，包括罐体，罐体内转动连接圆管，圆管外侧设有第一透气孔，圆管一侧转动连接气管，圆管一端固定连接第一链轮，罐体上侧固定连接电机，罐体内固定连接第一挡板，第一挡板下侧固定连接橡胶块，第一挡板下方滑动连接第二挡板，第二挡板设有第三透气孔，罐体底部固定连接加热台。本实用新型的优点：先通过旋转的圆管和叶片，使得反应气体均匀分布在罐体上方，然后向下滑动第二挡板，使的罐体上侧的反应气体通过第三透气孔均匀的流入到罐体下方，与基片反应，使基片表面沉积的薄膜更加均匀，避免了现有设备之间将反应气体通向基片导致反应气体分布不均，产生的薄膜表面不均匀，从而提高了产品质量。