本实用新型提供一种接口阀及化学气相沉积设备，接口阀包括：阀体、承插法兰及连接环，阀体具有沿自身轴向贯通的第一通孔、以及沿自身轴向设置于阀体的一端的第一法兰盘；承插法兰具有沿自身轴向贯通的第二通孔、以及沿自身轴向设置于承插法兰的一端的第二法兰盘；连接环具有内孔；第一法兰盘通过连接环与第二法兰盘可拆卸地连接，且第一通孔、内孔与第二通孔用于依次贯通。通过设置连接环以连接阀体和承插法兰，一方面可使接口阀具有良好的密封性，避免气体泄漏；另一方面阀体、连接环及承插法兰为可拆卸地连接，三者中任一个发生损坏时，可以方便地拆卸更换、节省维护成本。