本实用新型公开了一种物理化学气相沉积装置，包括装置壳体，装置壳体的内部开设有放置室，放置室的内部设置有沉积箱，装置壳体的上表面一端铰接有装置盖板，装置壳体的上表面另一端设置有气体储存罐，装置壳体位于放置室的下方开设有传热室。本实用新型中，首先，该装置通过把手、转动杆、齿轮圆辊和升降板的设置能够在取出气相沉积完毕后，将沉积箱与装置分离，避免了装置本体上面各种复杂结构影响操作人员，降低了实验操作人员取出操作的难度，提高了沉积装置的实用效果，其次通过降温抽槽、降温箱和导热板的设置能够在气相沉积完成之后，加速装置的冷却，减少了实验人员等待所耗费的时间，提高了气相沉积装置的工作效率。