本实用新型公开了一种溅射靶材加热平台，包括固定底板，固定底板下方固定设有蓄电池，固定底板上方设有溅射靶材加热平台，溅射靶材加热平台包括外箱体，外箱体的底部设有下加热板，下加热板外设有保护壳，保护壳与下加热板紧密贴合，下加热板上设有溅射靶材本体，固定底板上位于溅射靶材加热平台的两侧均设有固定侧板，固定侧板顶端设有支撑横板，支撑横板内均设有螺母，螺母内贯穿设有螺纹杆，螺纹杆的底部均设有连接轴承，连接轴承下方设有上加热板，上加热板底部设有导热板，有益效果：这样的装置结构简单，使用方便，可以均匀的对溅射靶材本体进行加热，同时具备固定的作用，且不会影响车间内部卫生和清洁。