一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台
授权
摘要
本实用新型公开了一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台，包括有主架，主架的顶部凸起设置有多个靶材置放部，靶材置放部包括有多个用于承托靶材工件的承托掐口，承托掐口开口向上设置，承托掐口的掐口大小不小于靶材工件的径宽。同一靶材置放部的各承托掐口分别沿直线方向排列设置，同一靶材置放部的相邻的两个承托掐口之间分别间隔设置有悬空吊装间距，靶材工件的相应部分分别嵌入于同一靶材置放部的各个承托掐口内，各个承托掐口的内侧面分别与靶材工件的外表面进行间隙配合。与现有技术相比，本实用新型通过多个与靶材工件的轮廓相匹配的承托掐口对靶材工件进行多点承托支撑，避免靶材工件发生意外侧滚，放置靶材工件意外跌落。
基本信息
专利标题 ：
一种TFT旋转溅射靶材防跌落平台
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922268069.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-17
授权号 ：
CN211615542U
授权日 ：
2020-10-02
发明人 ：
郭文明
申请人 ：
东莞市欧莱溅射靶材有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市厚街镇汀山村汀山路121号
代理机构 ：
北京天盾知识产权代理有限公司
代理人 ：
林晓宏
优先权 ：
CN201922268069.3
主分类号 ：
B25H3/00
IPC分类号 ：
B25H3/00 B25H5/00 B66C1/22
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H3/00
便于存、取工件、工具或仪器的车间用储存方法或装置
法律状态
2020-10-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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