本实用新型涉及一种硅片加工废水的处理装置，属于水处理技术领域。固液分离膜，用于对硅片加工废水进行过滤处理；第一纳滤膜、连接于固液分离膜的渗透侧，用于对固液分离膜的滤液进行纳滤处理；第二纳滤膜，连接于第一纳滤膜的截留侧，用于对第一纳滤膜的浓缩液进行纳滤处理；中和反应槽，连接于第二纳滤膜的截留侧，用于对第二纳滤膜的浓缩液进行加酸中和反应；酸液投加罐，连接于中和反应槽，用于向中和反应槽中加入酸。本实用新型具有过滤效果好、自动化程度高、适应性强、占地面积小等优点，因此本实用新型特别适用于硅片碱蚀液冲洗废水的回收。