基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置
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摘要
本实用新型公开了一种基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置,包括基板、调平台、样品夹具、金刚石探针、力传感器、Z向精密纳米位移平台、Z向微位移平台、Y向微位移平台和X向微位移平台；所述样品夹具通过调平台安装于基板上，所述X向微位移平台安装于基板上，所述Y向微位移平台安装于X向微位移平台，所述Z向微位移平台安装于Y向微位移平台，所述Z向精密纳米位移平台通过力传感器安装于Z向微位移平台，所述金刚石探针通过探针夹具安装于Z向精密纳米位移平台，且所述金刚石探针位于样品夹具的上方。本实用新型可利用力信号进行力位反馈控制，实现复杂曲面恒定深度微纳结构加工，装置结构简单，且成本低。
基本信息
专利标题 ：
基于力位控制的复杂曲面微纳结构加工的实验装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922216479.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-11
授权号 ：
CN211545944U
授权日 ：
2020-09-22
发明人 ：
唐鹏万珍平董柳杰王炜冯俊元
申请人 ：
华南理工大学
申请人地址 ：
广东省广州市天河区五山路381号
代理机构 ：
广州市华学知识产权代理有限公司
代理人 ：
梁睦宇
优先权 ：
CN201922216479.3
主分类号 ：
B81C1/00
IPC分类号 ：
B81C1/00 B81C99/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B81
微观结构技术
B81C
专门适用于制造或处理微观结构的装置或系统的方法或设备
B81C1/00
在基片内或其上制造或处理的装置或系统
法律状态
2020-09-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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