一种钙钛矿薄膜制备装置
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摘要
本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,具体地说是一种钙钛矿薄膜制备装置,包括钙钛矿涂膜调整装置、反溶剂涂膜调整装置和衬底传输机构,钙钛矿涂膜调整装置和反溶剂涂膜调整装置均设于衬底传输机构上方,钙钛矿涂膜调整装置包括第一调整车、第一流量控制阀和钙钛矿涂膜元件,且钙钛矿涂膜元件可升降地设于第一调整车上并通过第一流量控制阀控制流量,反溶剂涂膜调整装置包括第二调整车、第二流量控制阀和反溶剂涂膜元件,且反溶剂涂膜元件可升降地设于第二调整车上并通过第二流量控制阀控制流量。本实用新型在湿膜刮涂后直接采用反溶剂后处理的方法来制备钙钛矿薄膜,可以实现在低温下制备大面积、均匀无针孔的钙钛矿薄膜。
基本信息
专利标题 :
一种钙钛矿薄膜制备装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922236271.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-13
授权号 :
CN210628348U
授权日 :
2020-05-26
发明人 :
刘生忠杜敏永王立坤王开王辉秦炜曹越先孙友名段连杰焦玉骁
申请人 :
中国科学院大连化学物理研究所
申请人地址 :
辽宁省大连市沙河口区中山路457-41号
代理机构 :
沈阳科苑专利商标代理有限公司
代理人 :
汪海
优先权 :
CN201922236271.8
主分类号 :
H01L51/48
IPC分类号 :
H01L51/48 H01L51/42
法律状态
2020-05-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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