一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构
授权
摘要
本实用新型提供了一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构，包括转台、第一甩臂、第二甩臂和第一驱动电机，所述第一驱动电机的输出轴与所述转台固定连接并可驱动所述转台转动以在旋转方向调节所述第一甩臂和所述第二甩臂的位置；所述第一甩臂通过第一竖直调节机构活动设置在所述转台上，可驱动所述第一甩臂沿竖直方向移动；所述第二甩臂通过第二竖直调节机构活动设置在所述转台上，可驱动所述第二甩臂沿竖直方向移动，通过转台带动两个甩臂转动，第一甩臂进行固晶操作的同时，第二甩臂进行取晶操作，进而提高了生产效率，降低了生产成本，同时偏心轮和支撑轴的竖直调节机构产生的噪音较小，避免了噪音过大对作业员造成身心健康造成损害。
基本信息
专利标题 ：
一种高效双头固晶装置的甩臂驱动机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922258347.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-16
授权号 ：
CN211125611U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
冯霞霞
申请人 ：
江苏新智达新能源设备有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市梁溪区会北路26-14
代理机构 ：
南京中高专利代理有限公司
代理人 ：
袁兴隆
优先权 ：
CN201922258347.7
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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