固晶装置的测力机构
授权
摘要
本实用新型公开一种固晶装置的测力机构，该固晶装置的测力机构包括滑座以及设置在所述滑座上的吸嘴部件、第一弹性缓冲件和测力传感器，所述吸嘴部件包括吸嘴头和活动地穿设于所述滑座的吸嘴杆，所述吸嘴杆的底端与所述吸嘴头连接，所述吸嘴杆的顶端与所述第一弹性缓冲件连接，所述第一弹性缓冲件还与所述测力传感器连接。本实用新型所提出的测力机构能够有效提高固晶装置的工作效率。
基本信息
专利标题 ：
固晶装置的测力机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921052318.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-05
授权号 ：
CN209963028U
授权日 ：
2020-01-17
发明人 ：
周路遥周林
申请人 ：
深圳德森精密设备有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区松岗街道潭头第三工业区A区A4栋
代理机构 ：
深圳市华勤知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
隆毅
优先权 ：
CN201921052318.9
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 H01L21/683
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-01-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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