运输机构及固晶机
授权
摘要
本申请提供了一种运输机构及固晶机，该运输机构包括底座、支撑台、用于驱动支撑台沿底座的宽度方向移动的第一驱动组件和用于驱动第一驱动组件沿底座的长度方向移动的第二驱动组件；支撑台包括基座、开设于基座上的若干吸附孔和安装于基座上的吸气管。本申请通过在底座上安装第二驱动组件，在第二驱动组件上安装第一驱动组件，将支撑台安装在第一驱动组件上，从而可实现支撑台沿底座的长度和宽度两个方向的移动，支架的移动行程多样，能满足多个固晶位的需求；通过在支撑台的基座上开设若干吸附孔和吸气管，当吸气管外接抽气设备时，通过若干吸附孔可对支架进行吸附，可防止支架在多方向移动时产生晃动，进而提高支架安装的稳固性。
基本信息
专利标题 ：
运输机构及固晶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020465573.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-04-01
授权号 ：
CN211670185U
授权日 ：
2020-10-13
发明人 ：
胡新荣
申请人 ：
深圳新益昌科技股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市宝安区福永街道和平路锐明工业园C8栋
代理机构 ：
深圳中一联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐汉华
优先权 ：
CN202020465573.2
主分类号 ：
H01L21/677
IPC分类号 ：
H01L21/677 H01L21/683 H01L21/50 H01L21/60
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/677
用于传送的，例如在不同的工作站之间
法律状态
2020-10-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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