本实用新型公开了一种低频射频辉光放电电离装置，包括具有电离腔的电离源外壳、进样单元和辅助进气单元；所述进样单元包括金属型的进样管、套装所述进样管的加热筒，所述加热筒内设有加热棒，所述进样管插入电离腔内，所述电离源外壳正对进样管的一端设有用于和质谱仪相连的分析物出口；所述电离腔内设有电离源和能够激发电场的电极板组，带电分析物离子在电场引导下由进样管端朝分析物出口方向运动；所述辅助进气单元包括进气管和用于加热所述进气管内气体的加热装置，所述进气管从进样管的一端插入所述电离腔内。具有检测应用范围较广，电离效率高，检测灵敏度高，对真空度要求较低及可检测挥发性液体样品的特点。