本发明涉及质谱系统技术领域，提供一种辉光放电电子轰击电离源质谱系统，包括：辉光放电室，包括阴极板、阳极板、筒体及第一加压组件，筒体设置为两端开口的中空结构，阴极板和阳极板分别设置于筒体的两端，且三者围成腔体结构，第一加压组件用于使阴极板的电势低于阳极板的电势以形成电势差，腔体结构上设有进气口以及电子出射口；电离室，设有气体分子进样口、电子入射口及离子排放口，气体分子进样口供待检测气体进入，电子入射口与电子出射口相连接；质量分析器，第一端与离子排放口连接；检测器，与质量分析器的第二端连接。利用低气压下高压电场形成的辉光放电所产生的电子轰击电离源，避免了贵金属丝的使用，无需耗材，使用寿命更长。