本实用新型提供了一种晶体的退火处理装置，所述装置包括：坩埚，用于放置需要退火处理的晶体；第一加热器，包括同心设置的多个第一加热环，多个第一加热环分布于所述坩埚的上方；第二加热器，包括同心设置的多个第二加热环，多个第二加热环分布于所述坩埚的下方；第三加热器，其设置于所述坩埚的侧面。本实用新型分别设置位于坩埚上方、下方、两侧的加热器，且将坩埚上方、下方的多个加热器设置为多个加热环结构，通过调节每个加热环的适宜功率，可以控制坩埚温度从中心向边缘均匀降低，及控制坩埚下部温度高于对应部分的坩埚上部的温度，可获得与晶体生长时不同或相反的轴向温度梯度，能实现残余热应力的基本消除。