一种溅射靶材基板加工装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种溅射靶材基板加工装置，包括设置在厂房地面上的熔铝电阻炉装置、用于搅拌熔铝电阻炉装置内的金属熔液的搅拌装置、设置在厂房房顶上的用于将搅拌好的金属熔液进行吊装作业的吊装装置。本装置中熔铝电阻炉装置开取方便，搅拌装置实现金属液的自动搅拌，解放操作人员，避免人工操作造成烫伤的后果，因此便于流水线作业，从而有效提高生产效率，降低生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种溅射靶材基板加工装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922307023.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-19
授权号 ：
CN211470566U
授权日 ：
2020-09-11
发明人 ：
邢伟亮
申请人 ：
中诺新材（北京）科技有限公司
申请人地址 ：
北京市海淀区上地东路25号3层8单元319
代理机构 ：
北京汇智英财专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张玮玮
优先权 ：
CN201922307023.8
主分类号 ：
B66C11/00
IPC分类号 ：
B66C11/00 B66F7/10 C23C14/34 F27B14/06 F27D27/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B66
卷扬；提升；牵引
B66C
起重机；用于起重机、绞盘、绞车或滑车的载荷吊挂元件或装置
B66C11/00
载重滑车或绞车，如在轨道梁上运行的
法律状态
2020-09-11 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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