基板加工系统
授权
摘要

本申请公开了一种基板加工系统,包括:基座;设置在基座上的至少两个传送机构,每个传送机构包括X轴模组、Z轴模组以及平台组件,X轴模组与Z轴模组配置为分别驱动平台组件沿水平方向左右移动和沿竖直方向上下移动且依次经过上料工位、加工工位和下料工位,并轮换;平台组件上设置至少两个沿X方向布置的载台,载台用于支撑至少一个基板;进料设备,设置于上料工位,为平台组件的载台提供基板;加工设备,设置于加工工位,对平台组件的载台上的基板进行加工;出料设备,设置于下料工位,接收平台组件的载台上的基板。本申请实施例的基板加工系统,采用双平台组件,每个平台组件设置多载台承载基板,减少激光加工的等待时间,提高激光利用率。

基本信息
专利标题 :
基板加工系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202122231973.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-09-15
授权号 :
CN216188827U
授权日 :
2022-04-05
发明人 :
徐贵阳徐涛林枫
申请人 :
武汉帝尔激光科技股份有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区华师园二路5号
代理机构 :
北京康信知识产权代理有限责任公司
代理人 :
贾旭
优先权 :
CN202122231973.4
主分类号 :
B65G47/24
IPC分类号 :
B65G47/24  B65G15/32  B65G15/12  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B65
输送;包装;贮存;搬运薄的或细丝状材料
B65G
运输或贮存装置,例如装载或倾卸用输送机、车间输送机系统或气动管道输送机
B65G47/00
与输送机有关的物件或物料搬运装置;使用这些装置的方法
B65G47/22
在用输送机输送过程中影响物件相对位置或状态的装置
B65G47/24
将物件定向
法律状态
2022-04-05 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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