真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构
授权
摘要
本实用新型属于一种真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构，包括炉体(11),其特征是首先将视窗法兰(5)焊接在炉体(11)上，然后将磁环(2)放入旋钮(1)中，用磁环压紧螺母(3)压紧后套在轴套(4)上，将轴套(4)焊接在视窗法兰(5)上，用磁柱固定螺钉(6)把磁柱(7)固定在转轴(8)上，将转轴(8)插入轴套(4)中，用挡板固定螺钉(9)将挡板(10)固定在转轴(8)上，其中磁环(2)的内表面与磁柱(7)外圆柱面磁性相反，利用磁铁异极相吸的原理转动旋钮(1)即可带动转轴(8)旋转从而控制挡板(10)的开关，因轴套(4)是直接焊接在视窗法兰(5)上的，所以本真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构无需密封结构，无漏点，也不存在漏气现象，长期使用更加可靠。
基本信息
专利标题 ：
真空离子镀膜设备的无漏点的视窗挡板机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922339538.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-24
授权号 ：
CN211284528U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
白春阳孙英斌高琳
申请人 ：
大连金泰正新科技有限公司
申请人地址 ：
辽宁省大连市开发区辽河西路155栋-B-3-2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922339538.6
主分类号 ：
C23C14/52
IPC分类号 ：
C23C14/52 C23C14/32
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/52
观察镀覆工艺的装置
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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