一种智能等离子体清洗系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种智能等离子体清洗系统，包括控制器、脉冲电源、电极板、浮子流量计、工艺气体接口、腔体和真空泵；控制器的控制信号输出端与脉冲电源的输入端连接，脉冲电源的输出端与电极板连接；浮子流量计与工艺气体接口连接，且浮子流量计的数据输出端与控制器的数据输入端连接；工艺气体接口设置在腔体外部，在腔体外部设有腔门，且在腔体外部还设置有CF电极法兰、KF接口法兰和活动铰链；CF电极法兰与电极板连接，KF接口法兰设置在CF电极法兰下方等。本实用新型利用触摸控制，能够减少热损伤，清洗高效均匀，较低的处理温度，不存在热损伤和热氧化问题，使用成本低、耗损小、环保性好。
基本信息
专利标题 ：
一种智能等离子体清洗系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922375745.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-25
授权号 ：
CN211726803U
授权日 ：
2020-10-23
发明人 ：
陈本富
申请人 ：
四川宇天真空科技有限公司
申请人地址 ：
四川省南充市西充县多扶镇工业园区
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
黄冠华
优先权 ：
CN201922375745.7
主分类号 ：
B08B7/00
IPC分类号 ：
B08B7/00 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2020-10-23 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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