一种等离子体清洗系统
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种等离子体清洗系统,用于清洗待处理产品,包括真空腔室、至少一组等离子体发生器、安装架和脉冲偏压电源,真空腔室具有进气口和出气口,等离子体发生器包括同轴且间隔设置的第一平板和第二平板,第一平板设有若干第一贯穿孔,第二平板设有若干第二贯穿孔,第一平板和第二平板之间具有间隙,第一平板和第二平板位于安装架;脉冲偏压电源的正极与真空腔室电连接形成阳极,脉冲偏压电源的负极与第一平板和第二平板电连接。本发明的等离子体清洗系统,在脉冲电压电场作用下,第一平板和第二平板之间的辉光区交叠,使的大量流动的气体被击穿电离,从而产生辉光等离子体,对待处理产品进行清洗,且清洗效果好。

基本信息
专利标题 :
一种等离子体清洗系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114453345A
申请号 :
CN202111680984.9
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2021-12-30
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曹时义周敏王俊锋
申请人 :
广东鼎泰高科技术股份有限公司
申请人地址 :
广东省东莞市厚街镇赤岭工业一环路12号之一2号楼102室
代理机构 :
广州三环专利商标代理有限公司
代理人 :
侯柏龙
优先权 :
CN202111680984.9
主分类号 :
B08B7/00
IPC分类号 :
B08B7/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B7/00
不包含在其他小类或本小类的其他组中的清洁方法
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B08B 7/00
申请日 : 20211230
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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