等离子体制程稳定系统

发明专利申请公布后的视为撤回

摘要

一种等离子体制程稳定系统，此系统包括等离子体反应室、阻抗匹配网络、开关元件、控制电路以及高频电源。高频电源用以供应高频电力。等离子体反应室用以进行等离子体制程。控制电路用以输出控制信号。第一开关元件包括第一端、第二端以及第一开关控制端，其第一端以及第一开关控制端耦接控制电路，用以根据控制信号决定是否导通第一开关元件的第一端以及第二端。阻抗匹配网络包括第一端、第二端以及匹配控制端，其第一端耦接该等离子体反应室，其第二端耦接高频电源，匹配控制端耦接第一开关元件的第二端，根据控制信号决定是否对高频电力做自动校准阻抗匹配。

基本信息

专利标题：

等离子体制程稳定系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1942045A

申请号：

CN200510108822.2

公开（公告）日：

2007-04-04

申请日：

2005-09-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

许文成洪国钦许晋铭庄和达成忠荣

申请人：

联华电子股份有限公司

申请人地址：

台湾新竹科学工业园区

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

黄小临

优先权：

CN200510108822.2

主分类号：

H05H1/00

IPC分类号：

H05H1/00 H01L21/00