等离子体处理系统

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种等离子体处理系统(1)，它具有一个向一等离子体腔(9)输送HF功率的HF功率发生器(11)，及一个包括一个电极(8)、一个DC电压源(2)及一个设置在电极与DC电压源(2)之间的电连接中的滤波装置(7)的、静电的试样保持装置。其中，所述滤波装置(7)包括至少一个耗散部件(R2)。由此可以减小不希望的振荡对所述DC电压源(2)的影响。

基本信息

专利标题：

等离子体处理系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200790000069.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-06-29

授权号：

CN201352541Y

授权日：

2009-11-25

发明人：

E·曼C·弗里奇

申请人：

许廷格电子两合公司

申请人地址：

德国弗莱堡

代理机构：

永新专利商标代理有限公司

代理人：

曾立

优先权：

CN200790000069.8

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32 H01L21/683

IPC结构图谱

H部——电学

H01

基本电气元件

H01J

放电管或放电灯

H01J37/00

有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的

H01J37/32

充气放电管

法律状态

2017-07-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101736764140
IPC(主分类) : H01J 37/32
专利号 : ZL2007900000698
申请日 : 20070629
授权公告日 : 20091125
终止日期 : 无

2009-11-25 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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1、

CN201352541Y.PDF

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