等离子体处理装置
公开
摘要
本发明提供一种等离子体处理装置，目的在于高精度地控制具有由多载波实现的带宽的电力的经脉冲调制后的功率。装置包括能够产生具有带宽的电力的电力供给部，电力供给部产生的电力的功率被实施了脉冲调制使得具有高水平功率和低水平功率，并且，由设定脉冲频率和设定占空比决定的脉冲接通时间比具有带宽的电力所具有的功率变动周期长。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114496697A
申请号 ：
CN202111224195.4
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2021-10-20
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金子和史石田洋平
申请人 ：
东京毅力科创株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
龙淳
优先权 ：
CN202111224195.4
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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