等离子体处理装置
实质审查的生效
摘要
本发明涉及等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器中并被接地。
基本信息
专利标题 ：
等离子体处理装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114373669A
申请号 ：
CN202210034217.9
公开（公告）日 ：
2022-04-19
申请日 ：
2018-06-26
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
竹田敦森脇崇行井上忠田名部正治关谷一成笹本浩佐藤辰宪土屋信昭
申请人 ：
佳能安内华股份有限公司
申请人地址 ：
日本神奈川
代理机构 ：
中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人 ：
程晨
优先权 ：
CN202210034217.9
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-06 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180626
申请日 : 20180626
2022-04-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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