工件处理系统和等离子体产生装置

专利权的终止

摘要

本发明提供一种工件处理系统(S)，其设有：等离子体产生单元(PU)，所述等离子体产生单元(PU)包括用于产生2.45GHz微波的微波产生器(20)、用于使微波进行传播的波导(10)和安装于面对工件(W)的波导(13)表面上的等离子体产生器(30)；以及工件输送装置(C)，其用于输送工件(W)使其通过等离子体产生器(30)。等离子体产生器(30)包括多个以阵列布置的等离子体产生喷嘴(31)，所述等离子体产生喷嘴用于接收微波、基于接收电能产生等离子体转化气体以及释放产生的气体。当工件(W)由工件输送装置(C)输送时，该等离子体转化气体被吹到经过等离子体产生器(30)的工件(W)上。由此既可以连续地对多个工件进行等离子处理，又可以有效地对大面积的工件进行等离子处理。

基本信息

专利标题：

工件处理系统和等离子体产生装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101361409A

申请号：

CN200680051225.3

公开（公告）日：

2009-02-04

申请日：

2006-01-30

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

金重秀李相勋新井清孝

申请人：

诺日士钢机株式会社

申请人地址：

日本和歌山县

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司

代理人：

褚海英

优先权：

CN200680051225.3

主分类号：

H05H1/24

IPC分类号：

H05H1/24 H05H1/46 H01J37/32

法律状态

2013-04-03 ：

专利权的终止

未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101427317532
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利号 : ZL2006800512253
申请日 : 20060130
授权公告日 : 20110914
终止日期 : 20120130

2011-09-14 ：

授权

2010-10-20 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101009810243
IPC(主分类) : H01L 21/00
专利申请号 : 2006800512253
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 诺日士钢机株式会社
变更后权利人 : 赛安株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本和歌山县
变更后权利人 : 日本和歌山县
登记生效日 : 20100903

2009-04-01 ：

实质审查的生效

2009-02-04 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

文件下载

暂无PDF文件可下载