等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法

授权

摘要

本发明涉及用于向至少两个制程室脉冲供应具有至少40KHz频率的电力的等离子体产生器以及方法。等离子体产生器包括：控制单元，配置为获得及评估有关至少两个制程室中的制程的制程数据；具有输出的可控制的供电单元，配置为在其输出上以响应控制单元的控制信号的方式输出具有预定的电压和/或强度的直流电；以及切换单元，具有与供电单元的输出连接的第一输入及用于各自与至少两个制程室中的一个连接的至少两个切换单元输出。切换单元配置为自输入上的直流电形成具有预定的至少40KHz的频率的交流电作为输出信号的交流电，且以响应控制单元的控制信号的方式，将输出信号作为脉冲选择性地在预定的脉冲持续时间输出至切换单元输出中。控制单元配置为协调至少两个制程室的功率需求且驱动供电单元及切换单元，使得在各与制程室连接的切换单元输出

基本信息

专利标题：

等离子体产生器、等离子体处理设备及电力脉冲供应方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN110494949A

申请号：

CN201880023582.1

公开（公告）日：

2019-11-22

申请日：

2018-03-29

授权号：

CN110494949B

授权日：

2022-04-29

发明人：

夕巴斯汀·哈柏特斯·舒兹汤玛斯·沛尔瑙弗洛里安·那把尔菲力克斯·华克

申请人：

商先创国际股份有限公司

申请人地址：

德国布劳博伊伦福特伯格街31(邮递区号:89143)

代理机构：

北京同立钧成知识产权代理有限公司

代理人：

杨文娟

优先权：

CN201880023582.1

主分类号：

H01J37/32

IPC分类号：

H01J37/32