薄膜光波导

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摘要

本实用新型设计一种薄膜光波导，包括硅基衬底、设置在硅基衬底上的包层以及设置在硅基衬底上的光波导芯层，光波导芯层设于包层之中并且光波导芯层折射率高于包层的折射率，光波导芯层包括双层光波导介质薄膜以及设置于双层光波导介质薄膜之间的薄膜材料夹层，薄膜材料夹层为二维晶格亚波长结构，薄膜材料夹层为用以对光波导介质薄膜进行热光系数补偿的负热光系数材料。本实用新型利用二维晶格亚波长薄膜光波导的负热光系数材料对光波导介质薄膜进行热光系数补偿，无需设置额外的负热光系数镀层，降低了工艺的复杂成度和成本，确保了均匀控温，简化了薄膜光波导的结构并保证了薄膜光波导的热稳定性能。

基本信息

专利标题：

薄膜光波导

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922387866.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-25

授权号：

CN211826602U

授权日：

2020-10-30

发明人：

陈亦凡黄萌

申请人：

易锐光电科技（安徽）有限公司;苏州易锐光电科技有限公司

申请人地址：

安徽省马鞍山市慈湖高新区霍里山大道北段1669号2栋

代理机构：

苏州谨和知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

唐静芳

优先权：

CN201922387866.3

主分类号：

G02B6/10

IPC分类号：

G02B6/10