微型集成式气体传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种微型集成式气体传感器，其包括相对设置的加热单元和气体敏感单元，其中，所述气体敏感单元包括测试电极和气体敏感结构，所述气体敏感结构直接形成在所述测试电极上；所述加热单元包括与所述测试电极相匹配的加热层，所述加热层朝向所述气体敏感结构，且所述加热层与所述气体敏感结构无直接接触。本实用新型的气体传感器可靠性高，且该气体传感器在使用环境性能要求比较高的情况下可以满足需求，而且还可以避免多层薄膜结构在高温下使用造成的热应力和热膨胀系数匹配方面产生的问题。
基本信息
专利标题 ：
微型集成式气体传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922388339.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-27
授权号 ：
CN211263278U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
刘瑞
申请人 ：
安徽芯淮电子有限公司
申请人地址 ：
安徽省淮北市经济开发区梧桐路1号
代理机构 ：
南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
赵世发
优先权 ：
CN201922388339.4
主分类号 ：
G01N27/00
IPC分类号 ：
G01N27/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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