压电MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风，具有背腔的基底、悬置于所述背腔的振膜以及连接在所述振膜与所述基底之间的弹性支撑件，及固定于所述基底上的振膜，所述振膜远离所述背腔的侧面沿所述振膜的振动方向的两侧分别设有第一压电膜片，所述振膜朝向所述背腔的侧面上设有和第二压电膜片，所述第二压电膜片与所述第一压电膜片并联。本设计主要在振膜的下方制备与第一压电膜片振膜上方对应的第二压电膜片对应的结构，第二压电膜片与第一压电膜片并联连接，该设计方法会小幅降低灵敏度，但是由于并联后电容增加了一倍，其噪声会大幅度减小，因此总的信噪比(SNR)会有可观的提升。
基本信息
专利标题 ：
压电MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922501160.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211296939U
授权日 ：
2020-08-18
发明人 ：
童贝石正雨沈宇李杨
申请人 ：
瑞声科技（南京）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区仙林大学城元化路南大科学园新兴产业孵化基地研发楼8层
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
谷孝东
优先权 ：
CN201922501160.5
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-08-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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