压电MEMS麦克风
授权
摘要
本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于所述基底的至少一个悬臂梁；所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬置于所述背腔的振动部；所述悬臂梁沿振动方向包括至少两层声传感器层以及夹设于相邻两所述声传感器层之间的结构层，所述声传感器层包括第一电极层、第二电极层和设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层。本实用新型的通过在声传感器层之间设置结构层，使得悬臂梁的曲率半径更大，在产生相同弯曲角度时将产生更大的应变，从而产生更大的输出。
基本信息
专利标题 ：
压电MEMS麦克风
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922502174.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-31
授权号 ：
CN211378248U
授权日 ：
2020-08-28
发明人 ：
石正雨童贝李杨
申请人 ：
瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区高新区南区粤兴三道6号南京大学深圳产学研大楼A座
代理机构 ：
广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙)
代理人 ：
谷孝东
优先权 ：
CN201922502174.9
主分类号 ：
H04R19/04
IPC分类号 ：
H04R19/04
法律状态
2020-08-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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