全氢聚硅氮烷组合物和用于使用其形成氮化物膜的方法
授权
摘要
一种含Si膜形成组合物，包含催化剂和/或聚硅烷以及不含N‑H、不含C且富含Si的全氢聚硅氮烷，该全氢聚硅氮烷具有在从大约332道尔顿至大约100,000道尔顿范围内的分子量并且包含具有式[‑N(SiH3)x(SiH2‑)y]的不含N‑H的重复单元，其中x＝0、1或2并且y＝0、1或2，并且x+y＝2；并且x＝0、1或2，并且y＝1、2或3，并且x+y＝3。还披露了合成方法和使用其的应用。
基本信息
专利标题 ：
全氢聚硅氮烷组合物和用于使用其形成氮化物膜的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111918905A
申请号 ：
CN201980022629.7
公开（公告）日 ：
2020-11-10
申请日 ：
2019-02-21
授权号 ：
CN111918905B
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
安东尼奥·桑切斯根纳迪·伊多马尼什·坎德尔沃科尔·里特张鹏让-马克·吉拉尔宛志文格伦·库肯贝塞尔大卫·奥尔班肖恩·克里根里诺·佩萨雷西马修·达米安·斯蒂芬斯王洋纪尧姆·哈森格里戈里·尼基福罗夫
申请人 ：
乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司
申请人地址 ：
法国巴黎
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨贝贝
优先权 ：
CN201980022629.7
主分类号 ：
C08G77/62
IPC分类号 ：
C08G77/62 B05D1/40 C01B21/068 C01B33/04 C04B35/584 C09D1/00
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C08
有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物
C08G
用碳-碳不饱和键以外的反应得到的高分子化合物
C08G77/00
在高分子主链中形成含硅键合，有或没有硫、氮、氧，或碳键合反应得到的高分子化合物
C08G77/60
其中所有的硅原子是与氧以外的原子键合
C08G77/62
氮原子
法律状态
2022-05-24 ：
授权
2020-11-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08G 77/62
申请日 : 20190221
申请日 : 20190221
2020-11-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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