用于具有多重电子束的系统的电荷控制装置
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摘要
本发明揭示聚焦及对准多重电子束的系统及方法。相机产生投射在具有多个目标的光纤阵列处的来自电子束的光的图像数据。图像处理模块基于所述图像数据确定对施加到中继透镜、场透镜或多极阵列的电压的调整。所述调整最小化所述电子束中的一者的位移、散焦或像差中的至少一者。使用控制模块，将所述电压施加到所述中继透镜、所述场透镜或所述多极阵列。
基本信息
专利标题 ：
用于具有多重电子束的系统的电荷控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112074925A
申请号 ：
CN201980029660.3
公开（公告）日 ：
2020-12-11
申请日 ：
2019-05-26
授权号 ：
CN112074925B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
C·西尔斯L·葛瑞拉
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN201980029660.3
主分类号 ：
H01J37/02
IPC分类号 ：
H01J37/02 H01J37/14
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2021-06-18 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/02
申请日 : 20190526
申请日 : 20190526
2020-12-11 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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