一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜及其制备方法
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摘要

本发明提供一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜及其制备方法,属于贵金属防腐蚀氧化领域。本发明通过原子层沉积技术在贵金属基体表面构造有机金属化合物薄膜、氧化铝薄膜和氧化钛薄膜三层复合薄膜体系,其中,有机金属化合物薄膜可在低温下制备,在给予表面保护的同时防止其高温氧化,氧化铝薄膜提供防腐蚀骨架与水氧隔离能力,氧化钛无机薄膜填充骨架与孔洞形成致密保护层提供抗腐蚀保护,在不改变表面颜色的前提下提供致密的保护层,有效防止腐蚀氧化。

基本信息
专利标题 :
一种贵金属表面防腐蚀复合薄膜及其制备方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN113215553A
申请号 :
CN202010069027.1
公开(公告)日 :
2021-08-06
申请日 :
2020-01-21
授权号 :
CN113215553B
授权日 :
2022-04-19
发明人 :
熊杰
申请人 :
四川贝克特瑞科技有限公司
申请人地址 :
四川省成都市天府新区湖畔路北段366号
代理机构 :
电子科技大学专利中心
代理人 :
吴姗霖
优先权 :
CN202010069027.1
主分类号 :
C23C16/455
IPC分类号 :
C23C16/455  C23C16/40  C23C16/02  
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IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16/00
通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积工艺
C23C16/44
以镀覆方法为特征的
C23C16/455
向反应室输入气体或在反应室中改性气流的方法
法律状态
2022-04-19 :
授权
2021-08-24 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 16/455
申请日 : 20200121
2021-08-06 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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