本发明提供一种柔性公自转传送装置及带有该装置的镀膜机腔体，包括：定齿盘；柔性轨道，柔性轨道设于定齿盘的外环；多个自转轮盘，自转轮盘安装在柔性轨道与定齿盘之间，且通过齿轮与定齿盘啮合接触；驱动机构通过磁流体安装在真空腔体顶板上且通过链轮与自转轮盘上的链齿啮合接触；挂载杆，挂载杆连接在自转轮盘上。本发明的有益效果在于：采用链轮轨道设计方案，装置体积减小，方便在真空腔体内安装其他功能结构及装置；既可以实现单腔体的镀膜公自转运行，在单腔体中进出片挂载，也可以实现多腔体中单腔体的公自转运行，在多腔体间自动的工件交换；柔性轨道可进行变向满足生产中的不同需求；全程可进行自动化控制，操作简便。