一种紫外灯电离源
授权
摘要

本发明公开了一种紫外灯电离源,包括紫外灯组件、紫外灯电源和电离腔体,所述紫外灯组件分别与所述紫外灯电源和所述电离腔体连接,所述电离腔体的侧壁上设有进样口和进气口,所述电离腔体的顶部设有质谱接口,所述电离腔体的内壁设有金属层,所述紫外灯电源的供电电流可调,使得所述紫外灯电离源工作于单光子电离模式或光电子吸附电离模式。本发明的紫外灯电离源可工作于两种模式,且气密性好可在任意气压下正常工作,极大地增加了紫外灯电离源的应用范围。

基本信息
专利标题 :
一种紫外灯电离源
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111653470A
申请号 :
CN202010450658.8
公开(公告)日 :
2020-09-11
申请日 :
2020-05-25
授权号 :
CN111653470B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
余泉李伟强王晓浩
申请人 :
清华大学深圳国际研究生院
申请人地址 :
广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
代理机构 :
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 :
刘莉
优先权 :
CN202010450658.8
主分类号 :
H01J49/10
IPC分类号 :
H01J49/10  H01J49/16  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J49/00
粒子分光仪或粒子分离管
H01J49/02
零部件
H01J49/10
离子源;离子枪
法律状态
2022-05-13 :
授权
2020-10-13 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 49/10
申请日 : 20200525
2020-09-11 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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