一种多线切割装置
授权
摘要

本发明公开了一种多线切割装置,包括加工台、切割线、主动线槽轴、从动线槽轴和调节机构,其中,加工台设置于切割线上方,加工台沿竖直方向移动时,通过切割线对其上装载的工件进行线切割;切割线缠绕在主动线槽轴与从动线槽轴之间,形成上切割线网和下切割线网;调节机构包括控制单元和连接至控制单元的两个伸缩单元;两个伸缩单元均设置在上切割线网下方,且分别靠近主动线槽轴一侧或从动线槽轴一侧;控制单元用于在对工件进行线切割时,控制主动线槽轴一侧或从动线槽轴一侧的伸缩单元将上切割线网顶起一设定高度。该装置能够通过可伸缩的调节机构支撑所述上切割线网,控制切割线振幅,提高切割获得的硅片质量。

基本信息
专利标题 :
一种多线切割装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111730773A
申请号 :
CN202010468660.8
公开(公告)日 :
2020-10-02
申请日 :
2020-05-28
授权号 :
CN111730773B
授权日 :
2022-04-08
发明人 :
郭宇轩
申请人 :
西安奕斯伟硅片技术有限公司
申请人地址 :
陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
代理机构 :
西安嘉思特知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘长春
优先权 :
CN202010468660.8
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04  B28D7/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2022-04-08 :
授权
2021-10-12 :
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : B28D 5/04
登记生效日 : 20210927
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
变更后权利人 : 西安奕斯伟材料科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 710065 陕西省西安市高新区锦业路1号都市之门A座1323室
变更后权利人 : 710000 陕西省西安市高新区西沣南路1888号1-3-029室
变更事项 : 申请人
变更后权利人 : 西安奕斯伟硅片技术有限公司
2020-10-30 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20200528
2020-10-02 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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