晶片线切割装置及其晶片线切割方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种提高切割的切削力,缩短切割时间和提高晶片角度合格率的晶片线切割装置及其晶片线切割方法。本发明包括机架,机架上设置有切割工作台,切割工作台上设置有进给装置,进给装置上放置有切割料板,进给装置的上方设置有三个排列为等腰三角形的旋转罗拉,旋转罗拉上均匀设有若干个罗拉槽,机架的下端两侧分别设置有送线装置和收线装置,送线装置上盘绕有波纹状切割钢丝,波纹状切割钢丝从送线装置出来后依次盘绕于三个旋转罗拉的罗拉槽内后固定于收线装置上。本发明应用于切割设备的技术领域。
基本信息
专利标题 :
晶片线切割装置及其晶片线切割方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114274388A
申请号 :
CN202111293811.1
公开(公告)日 :
2022-04-05
申请日 :
2021-11-03
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
谢尚平孙黎明莫宗均
申请人 :
珠海东锦石英科技有限公司
申请人地址 :
广东省珠海市珠海大道东段北侧南屏科技工业园绿园路3号
代理机构 :
珠海中知耕作知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
何承鑫
优先权 :
CN202111293811.1
主分类号 :
B28D5/04
IPC分类号 :
B28D5/04 B28D7/00 B24B27/06 B24B47/20 B24B49/00 B24B57/02
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D5/00
宝石、宝石饰物、结晶体的精细加工,例如半导体材料的精加工;所用设备
B28D5/04
用非旋转式工具的,例如往复式工具
法律状态
2022-04-22 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B28D 5/04
申请日 : 20211103
申请日 : 20211103
2022-04-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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