一种用于抛光的精密力位控制装置
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摘要

本发明公开了一种用于抛光的精密力位控制装置,包括安装底板、导轨底座、交叉滚柱导轨、滑板、光栅、光栅读数头、读数头座、角度传感器、音圈电机磁钢、磁钢底座、音圈电机线圈、压力传感器底座、抛光力传感器、称重传感器、称重传感器底座、测力传感器底座、测力传感器、球铰连接件、电缸滑杆、电缸缸体、制动片以及制动卡钳。该装置设计为纵向使用,具备自重称重功能、平衡自身重量功能、运动位移速度测量功能、压力精密输出功能、抛光压力检测反馈功能、位置闭环功能、姿态监测功能以及快速制动功能等。该装置能够不仅可以输出稳定的抛光压力,还能实现位置闭环控制,以及压力和位置控制的任意切换,有利于提高精密光学加工零件的面形精度。

基本信息
专利标题 :
一种用于抛光的精密力位控制装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN111958394A
申请号 :
CN202010828755.6
公开(公告)日 :
2020-11-20
申请日 :
2020-08-18
授权号 :
CN111958394B
授权日 :
2022-06-10
发明人 :
饶志敏刘海涛万勇建
申请人 :
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 :
四川省成都市双流350信箱
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202010828755.6
主分类号 :
B24B13/00
IPC分类号 :
B24B13/00  B24B47/12  B24B51/00  B24B49/00  B24B49/12  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B13/00
为磨削或抛光透镜上的光学表面和其他工件上相似形状表面设计的机床或装置及其附件
法律状态
2022-06-10 :
授权
2020-12-08 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 13/00
申请日 : 20200818
2020-11-20 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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