一种光学金刚石材料表面非接触式离子束抛光方法
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摘要
本发明公开了一种光学金刚石材料表面非接触式离子束抛光方法，其特征在于包括有以下步骤：(1)采用微波等离子化学气相沉积方法，制备获得光学级的金刚石材料样品；(2)在超净室完成样品夹装；(3)开启离子源，待离子源稳定；(4)对金刚石材料样品表面一层进行抛光得到洁净表面；(5)采用高能宽束离子束进行大面积均匀刻蚀抛光，采用束压为1200～1500V，离子束直径为20～50mm；(6)采用低能窄束离子束进行微区域精密抛光，采用束压为600～800V，离子束直径为2～15mm；(7)抛光后取出样品，得到具有纳米级光滑表面的金刚石材料。与现有技术相比，本发明的方法能够得到纳米级光滑表面。
基本信息
专利标题 ：
一种光学金刚石材料表面非接触式离子束抛光方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN112025417A
申请号 ：
CN202010841748.X
公开（公告）日 ：
2020-12-04
申请日 ：
2020-08-20
授权号 ：
CN112025417B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
李晓静张祺高永亮聂景江乌仁娜
申请人 ：
中国兵器科学研究院宁波分院
申请人地址 ：
浙江省宁波市高新区凌云路199号
代理机构 ：
宁波诚源专利事务所有限公司
代理人 ：
袁忠卫
优先权 ：
CN202010841748.X
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00 B24B13/00 B24B9/00 B24B49/12
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-12-22 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B24B 1/00
申请日 : 20200820
申请日 : 20200820
2020-12-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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