一种离子束抛光设备
授权
摘要
本实用新型涉及到电镀技术领域，尤其涉及一种离子束抛光设备。该离子束抛光设备使用真空泵将真空室获得一定真空度。打开离子源将冲入真空室内的惰性气体氩气电离形成等离子体，然后由栅极将离子呈束状引出并加速，对基板进行抛光。电机带动基板旋转，提高抛光的均匀性。在打开离子源的同时打开中和器避免电荷在基板上聚集而产生对后续离子的排斥作用。使用离子束抛光设备可用得到超光滑表面。不仅可用提高抛光质量，而且大大提高了抛光效率，提高了抛光的均匀性和稳定性。此外，该离子束抛光设备结构简单，不仅可用提高抛光质量，而且大大提高了抛光效率，提高了抛光的均匀性和稳定性，适合推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种离子束抛光设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920998634.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-06-29
授权号 ：
CN210549947U
授权日 ：
2020-05-19
发明人 ：
常洪兴徐胜
申请人 ：
杰莱特（苏州）精密仪器有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市张家港市张家港经济技术开发区福新路2号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201920998634.9
主分类号 ：
B24B1/00
IPC分类号 ：
B24B1/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B1/00
磨削或抛光的工艺；与此工艺有关的所用辅助设备
法律状态
2020-05-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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