可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开一种可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法，涉及半导体制造技术领域，以提高温度变化的实时性。所述可调混合装置包括：混合单元和至少两个供液单元，至少两个供液单元均与混合单元连通。至少两个供液单元以不同的流量和/或不同的温度向混合单元供应溶液，以在混合单元中获得具有预设温度的混合溶液。本发明还提供一种控制装置、可调混合系统和可调混合方法。上述可调混合系统包括控制装置，可调混合装置和温度传感器。所述可调混合方法应用于上述可调混合系统。
基本信息
专利标题 ：
可调混合装置、控制装置、可调混合系统和可调混合方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114432957A
申请号 ：
CN202011120772.0
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
姜哲求胡艳鹏李琳卢一泓
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京知迪知识产权代理有限公司
代理人 ：
王胜利
优先权 ：
CN202011120772.0
主分类号 ：
B01F35/83
IPC分类号 ：
B01F35/83 B01F35/213 H01L21/67
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B01F 35/83
申请日 : 20201019
申请日 : 20201019
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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